北方华创申请半导体工艺腔室及其进气组件专利，进气管路高度减小避免影响上电极组件维保过程

金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及其进气组件”的专利，公开号CN119920671A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺腔室及其进气组件，属于半导体技术领域。进气组件包括进气管路、喷气部件和喷气连接件，喷气连接件与喷气部件沿竖直方向依次设置，喷气连接件的内部设有进气通道，喷气部件的内部设有喷气通道，喷气通道用于与所述半导体工艺腔室的腔室本体内部连通；进气管路与喷气连接件相连，且进气管路、进气通道与喷气通道依次连通，进气通道在第一平面内延伸，第一平面与竖直方向相交。半导体工艺腔室包括腔室本体、上电极组件以及上述的进气组件，腔室本体的顶壁设有安装孔，喷气部件设置于安装孔处。如此，进气管路的高度减小，上电极组件与进气管路分离开，避免影响上电极组件的维保过程。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1029次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员