深圳市辰中及晶相申请特气供应技术专利，提高特气柜、镀膜舱室作业效率

金融界2025年4月28日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市辰中科技有限公司、深圳市晶相技术有限公司申请一项名为“一种特气供应系统及特气供应方法”的专利，公开号 CN119876910A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明提供一种特气供应系统，特气供应系统包括：至少两个特气柜；至少两个镀膜舱室，镀膜舱室通过供气管道连接于特气柜上；供气阀门，设置于供气管道上；中间管道，连接于相邻两个镀膜舱室对应的供气管道之间，中间管道与供气管道连通；中间阀门，设置于中间管道上；其中，中间管道位于特气柜与供气阀门之间，或者中间管道位于供气阀门与镀膜舱室之间；压力检测器，设置于供气管道上，其中，一个特气柜对应一个压力检测器。本发明提高了特气柜、镀膜舱室的作业效率。

天眼查资料显示，深圳市辰中科技有限公司，成立于2001年，位于深圳市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市辰中科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可13个。

深圳市晶相技术有限公司，成立于2015年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市晶相技术有限公司共对外投资了4家企业，财产线索方面有商标信息6条，专利信息116条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员