卡尔蔡司SMT申请用于处理干涉仪的参考元件的方法专利，能够处理干涉仪的参考元件

金融界2025年4月24日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于处理干涉仪的参考元件的方法”的专利，公开号CN119816699A，申请日期为2023年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于处理干涉仪的参考元件（14）的方法（10），所述干涉仪被配置为测量测试对象的表面形状，其中所述参考元件（14）对于干涉仪的测量辐射是透射的，并且包括用作测试对象的干涉测量的参考表面的第一表面（16）。所述方法（10）包括以下步骤：通过将由参考表面（16）处的反射生成的第一测量波（64）与由与标准化测试对象（32）的相互作用生成的第二测量波（66）叠加来生成（60）第一干涉图；通过将由参考表面（16）处的反射生成的第一测量波（64）与第三测量波（72、172）叠加来生成（70）第二干涉图，所述第三测量波通过与第二测量波通过的光束路径（67）不同的光束路径（73、173）；以及评估（68，74）干涉图，并且基于评估结果，处理（78）参考元件（14）的第一表面（16）和与第一表面（16）相对的另一表面。此外，本发明涉及一种用于处理参考元件（14）的相应设备（12）。

本文源自：金融界

作者：情报员