北方华创申请半导体设备专利，能够提高边缘保护环及旋转伸缩机构的可维护更换性

金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体设备”的专利，公开号CN119905419A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体设备，包括反应腔室、组件腔室、旋转伸缩机构和边缘保护环，反应腔室内设置有用于承载晶圆的承载部件，组件腔室设置在反应腔室的周侧，且组件腔室的第一侧与反应腔室可选择的通断连接，组件腔室的第二侧与外界环境可选择的通断；旋转伸缩机构设置在组件腔室内，并与边缘保护环可拆卸的连接，旋转伸缩机构用于驱动边缘保护环旋转，并用于驱动边缘保护环伸入至反应腔室内，以通过边缘保护环对晶圆的边缘进行遮挡保护，或者驱动边缘保护环伸出组件腔室的第二侧。本发明提供的半导体设备能够提高边缘保护环及旋转伸缩机构的可维护更换性，从而能够减少影响半导体设备产量的因素。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员