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曙光信息申请晶圆缺陷检测专利,提高对晶圆的缺陷检测精度

金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,曙光信息产业股份有限公司;曙光信息产业(北京)有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品”的专利,公开号CN119904412A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。所述方法包括:首先,获取晶圆表面的目标图像,然后,将目标图像输入晶圆缺陷检测模型中,得到晶圆缺陷检测模型的输出结果,其中,晶圆缺陷检测模型包括具有对称关系的编码器和解码器,编码器和解码器通过注意力模块连接,最后,根据输出结果确定目标图像的检测结果,检测结果包括晶圆的类型。采用本方法能够提升晶圆检测模型的特征提取能力,从而提高对目标图像的检测精度,也即提高对晶圆的缺陷检测的精度。

天眼查资料显示,曙光信息产业股份有限公司,成立于2006年,位于天津市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本146320.3784万人民币。通过天眼查大数据分析,曙光信息产业股份有限公司共对外投资了40家企业,参与招投标项目529次,财产线索方面有商标信息398条,专利信息1145条,此外企业还拥有行政许可46个。

曙光信息产业(北京)有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本47500万人民币。通过天眼查大数据分析,曙光信息产业(北京)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目1221次,专利信息1559条,此外企业还拥有行政许可12个。

本文源自:金融界

作者:情报员