艾庞半导体取得单晶硅片载具烘干装置专利，提高单晶硅片的烘干效率

金融界2025年4月19日消息，国家知识产权局信息显示，艾庞半导体科技（四川）有限公司取得一项名为“一种单晶硅片载具烘干装置”的专利，授权公告号CN222773653U，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本实用新型公开一种单晶硅片载具烘干装置，包括圆形载具，圆形载具的内部底端安装有支撑底板，支撑底板的顶部分别放置有两组圆形活动板，四组放置槽的内部分别滑动连接有支撑框，将支撑框从圆形活动板内部开设的放置槽内拉出，将多个单晶硅片分别排列式放置到支撑框内部开设的通槽内，同时通槽内部两侧安装的硅片夹板对单晶硅片进行夹持稳固，当多个单晶硅片放置到支撑框完成后支撑框重新回到放置槽的内部，旋转圆形活动板，圆形活动板利用与支撑底板之间安装的滑动组件进行旋转以便于继续对其他支撑框进行放置单晶硅片，使得多组单晶硅片悬挂在圆形载具内以便于进行烘干，提高单晶硅片的烘干效率。

天眼查资料显示，艾庞半导体科技（四川）有限公司，成立于2023年，位于遂宁市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，艾庞半导体科技（四川）有限公司专利信息6条。

本文源自：金融界

作者：情报员