广州增芯取得化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置专利，避免钻石掉落对修整效果及晶圆的损坏

金融界 2025 年 4 月 25 日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司取得一项名为“化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置”的专利，授权公告号 CN 222779358 U，申请日期为 2024 年 6 月 。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置，包括：光学传感器，设置于钻石修整头的外侧，随着钻石修整器的运动而运动，对钻石修整头修整的研磨垫发出光信号进行扫描，并接收从研磨垫反射回的光信号；图像拍摄装置，设置于收容器的底部，拍摄钻石修整头工作之前和工作之后的照片；检测处理部分，与光学传感器和图像拍摄装置通讯连接，对光学传感器和图像拍摄装置所输出的数据进行处理，以监控是否有钻石掉落。本实用新型的技术方案，通过光学传感器、图像拍摄图像，实现了钻石掉落的双重监控，监控结果准确，避免了钻石掉落对修整效果的影响以及对晶圆的损坏。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可166个。

本文源自：金融界

作者：情报员