无锡卓海申请晶圆装载设备调试专利，实现对晶圆装载设备的快速调试

金融界2025年4月28日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆装载设备调试系统及方法”的专利，公开号 CN 119861694 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆装载设备调试系统及方法，该系统包括：交互设备、调试控制板和晶圆装载控制板；其中，交互设备用于基于对晶圆装载设备的调试触发操作，生成控制参数修改指令；调试控制板用于将控制参数修改指令发送至晶圆装载控制板；晶圆装载控制板用于基于控制参数修改指令对晶圆装载设备的控制参数进行修改，获得修改后的晶圆装载设备对应的目标运行状态数据；调试控制板还用于若基于目标运行状态数据，检测到参数调整后的晶圆装载设备处于标准运行状态，则确定晶圆装载设备调试结束。本发明实施例的技术方案，可以实现对晶圆装载设备的快速调试，降低人力成本，提高对晶圆装载设备的调试精度和调试效率，从而保证晶圆装载设备稳定运行。

天眼查资料显示，无锡卓海科技股份有限公司，成立于2009年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息139条，此外企业还拥有行政许可42个。

本文源自：金融界

作者：情报员