无锡松煜科技取得多片式硅基钙钛矿电池ALD镀膜装置专利，提高现有ALD批量沉积SnO2电子传输层的膜厚均匀性

金融界2025年4月25日消息，国家知识产权局信息显示，无锡松煜科技有限公司取得一项名为“多片式硅基钙钛矿电池ALD镀膜装置”的专利，授权公告号CN 222781685 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种多片式硅基钙钛矿电池ALD镀膜装置，属于ALD镀膜技术领域。它包括装置本体，装置本体置于ALD设备反应腔室内部，装置本体内部设置用于承载基底硅片的铝舟；装置本体的结构为：包括相对设置的左侧挡板和右侧挡板，还包括以ALD设备反应腔室的进气口和排气口位置为基准分别匹配的均流格栅和可位移挡板；左侧挡板、右侧挡板均流格栅和可位移挡板整体构成顶部开口的框架结构装置本体的顶部开口与ALD设备反应腔室的上侧内壁相抵；均流格栅和反应腔室的进气口之间设置缓冲空隙；可位移挡板沿竖向设置且设置数量至少一个。本实用新型将反应前驱体均匀通入，提高现有ALD批量沉积SnO2电子传输层的膜厚均匀性。

天眼查资料显示，无锡松煜科技有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3221.2326万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡松煜科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息164条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员